반도체
-
반도체 (SEMICONDUCTOR)
개요
- 반도체 생산라인과 장비에 쓰이는 고무 재료는 플라즈마에 강한 내성을 가지고 있어야 하기때문에 해외에서 수입하여 사용 중에 있습니다.
- 아이넴에서는 반도체 장비에 사용되는 고무 재료를 자체 개발하였으며, 반도체의 생산 환경에 가장 크게 노출되는 플라즈마에 강한 성질을 가지고 있습니다.
제품의 특성
- 플라즈마에 강한 내성을 가져야 하며, 고무의 물성 특성이 잘 나타나야 합니다.
제품의 적용
- 반도체 생산 설비 / 생산 장비
제품의 종류
- Gasket, O-ring, 각종 Sealing/Packing류 및 탄성체 부품 등